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发明名称 VACUUM DISCHARGING METHOD AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0560066(A) 申请公布日期 1993.03.09
申请号 JP19910213765 申请日期 1991.08.26
申请人 JAPAN STEEL WORKS LTD:THE 发明人 MUKAI YASUNARI;TESHIROGI KUNIO
分类号 F04B37/02 主分类号 F04B37/02
代理机构 代理人
主权项
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