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发明名称 JIG FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH0559543(A) 申请公布日期 1993.03.09
申请号 JP19910221998 申请日期 1991.09.03
申请人 NEC IBARAKI LTD 发明人 SHIMANO CHIZUKO
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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