| 发明名称 |
STAINLESS STEEL MEMBER FOR ULTRAHIGH VACUUM EQUIPMENT AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0559524(A) |
申请公布日期 |
1993.03.09 |
| 申请号 |
JP19910244967 |
申请日期 |
1991.08.30 |
| 申请人 |
NKK CORP |
发明人 |
TOYAMA AKIRA;MIYAUCHI MASAAKI;YAMADA TAKEMI;OHASHI MASAO |
| 分类号 |
C22C38/00;C22C38/44;C23C8/14;C23C26/00;H01L21/203 |
主分类号 |
C22C38/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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