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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING METALLIZATION OF INTEGRAL CIRCUITS
摘要
申请公布号 RU1389603(C) 申请公布日期 1993.03.07
申请号 SU19864088839 申请日期 1986.07.09
申请人 IVANKOVSKIJ M.M.,SU;AGRICH YU.V.,SU;SULZHITS S.A.,SU 发明人 IVANKOVSKIJ M.M.,SU;AGRICH YU.V.,SU;SULZHITS S.A.,SU
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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