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发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0555470(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910238760 申请日期 1991.08.26
申请人 RICOH CO LTD 发明人 ISHIDA MAMORU;YAIDA OSAMU
分类号 H01C17/14;H01L21/205;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01C17/14
代理机构 代理人
主权项
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