发明名称 ELECTRONIC PART INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0555331(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910217636 申请日期 1991.08.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 WATANABE TAKAO;HORI HIROYUKI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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