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发明名称 COATING METHOD FOR FINE PART
摘要
申请公布号 JPH0555414(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910217787 申请日期 1991.08.29
申请人 FUJITSU GENERAL LTD 发明人 TANAKA KEISUKE
分类号 H01L21/56;H01L23/29;H01L23/31;H05K3/28 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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