| 发明名称 |
ION SOURCE AND METHOD FOR OPERATING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0554810(A) |
申请公布日期 |
1993.03.05 |
| 申请号 |
JP19910242704 |
申请日期 |
1991.08.28 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
INAMI HIROSHI;INAI YUTAKA;MATSUDA YASUHIRO;YAMASHITA TAKATOSHI;FUJIWARA SHUICHI;MATSUNAGA KOJI |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J27/22;H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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