发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0555478(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910217683 申请日期 1991.08.29
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICOM SYST:KK 发明人 AOYAMA AKIHISA
分类号 H01L21/8249;H01L27/06 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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