| 发明名称 |
SHUTTER MECHANISM FOR VACUUM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0554843(A) |
申请公布日期 |
1993.03.05 |
| 申请号 |
JP19910232166 |
申请日期 |
1991.08.20 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
YANAGIDA HIROSHI;SHIMIZU SABURO;FUWA KO;YAMAMURO KAZUHIRO;SHIGETOMI JUNICHI |
| 分类号 |
B01J3/02;C22C19/03;G21K5/04;H01J37/09 |
主分类号 |
B01J3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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