| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PER LA REALIZZAZIONE DI STRUTTURE METROLOGICHE PARTICOLARMENTE PER L'ANALISI DELL'ACCURATEZZA DI STRUMENTI DI MISURA DI ALLINEAMENTO SU SUBSTRATI PROCESSATI. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITMI912345(A1) |
申请公布日期 |
1993.03.05 |
| 申请号 |
IT1991MI02345 |
申请日期 |
1991.09.04 |
| 申请人 |
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
CANESTRARI PAOLO;LIETTI CARLO;RIVERA GIOVANNI |
| 分类号 |
H01L21/312;G03F7/00;H01L;H01L21/66;H01L23/544 |
主分类号 |
H01L21/312 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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