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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号
JPH0555318(A)
申请公布日期
1993.03.05
申请号
JP19910217536
申请日期
1991.08.28
申请人
NEC CORP
发明人
KANO TOSHIYUKI
分类号
G01R31/26;G01R31/302;H01J37/28;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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