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发明名称
PATTERNING METHOD USING MULTILAYER RESIST
摘要
申请公布号
JPH0555178(A)
申请公布日期
1993.03.05
申请号
JP19910215246
申请日期
1991.08.27
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SATO TAKAMASA;MIHARA SATOSHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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