发明名称 PATTERNING METHOD USING MULTILAYER RESIST
摘要
申请公布号 JPH0555178(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910215246 申请日期 1991.08.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO TAKAMASA;MIHARA SATOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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