DOOR OPENER/CLOSER FOR CHAMBER OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT,申请号JP19910236912-传众专利搜索

发明名称	DOOR OPENER/CLOSER FOR CHAMBER OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH0555101(A)	申请公布日期	1993.03.05
申请号	JP19910236912	申请日期	1991.08.26
申请人	CANON INC	发明人	KOIZUMI HIROYUKI
分类号	F26B25/12;H01L21/02	主分类号	F26B25/12
代理机构		代理人
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