发明名称
摘要
申请公布号 JPH0516664(B2) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19860218380 申请日期 1986.09.16
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 ISHIKAWA HIDEO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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