发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0555341(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910217665 申请日期 1991.08.29
申请人 NEC CORP 发明人 TOTANI KAZUMI
分类号 H01L21/66;H01L21/265 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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