| 摘要 |
On décrit une source de pulvérisation cathodique à partir d'anneaux concentriques (15) à la surface d'une cible unique. La source comprend un aimant rotatif à boucle fermée (21) possédant un ensemble de sections incurvées de différents rayons moyens reliées par un nombre égal de sections radiales. Dans le mode de réalisation préféré, les sections incurvées peuvent chacune présenter une forme produisant un profil d'érosion déterminé dans l'anneau concentrique associé (15) de la cible de pulvérisation (17). On peut réguler le débit rotatif de pulvérisation par chaque anneau (15) en modifiant les longueurs relatives des parties incurvées de l'aimant à boucle fermée (21). |
