ZERSTAEUBUNGSKATHODENANORDNUNG NACH DEM MAGNETRON-PRINZIP FUER DIE BESCHICHTUNG EINER KREISRINGFOERMIGEN BESCHICHTUNGSFLAECHE,申请号DE19914128340-传众专利搜索

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发明名称	ZERSTAEUBUNGSKATHODENANORDNUNG NACH DEM MAGNETRON-PRINZIP FUER DIE BESCHICHTUNG EINER KREISRINGFOERMIGEN BESCHICHTUNGSFLAECHE
摘要
申请公布号	DE4128340(A1)	申请公布日期	1993.03.04
申请号	DE19914128340	申请日期	1991.08.27
申请人	LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE	发明人	BRAEUER, GUENTER, DR., 6464 LINSENGERICHT, DE;SCHULTHEISS, EBERHARD, DR., 6348 HERBORN, DE
分类号	C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34	主分类号	C23C14/35
代理机构		代理人
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