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发明名称
摘要
申请公布号	JPH058678(Y2)	申请公布日期	1993.03.04
申请号	JP19900067895U	申请日期	1990.06.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
主权项
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