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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER NIEDERGESCHLAGENEN SCHICHT.
摘要
申请公布号 DE3783632(D1) 申请公布日期 1993.03.04
申请号 DE19873783632 申请日期 1987.03.31
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUYAMA, JINSHO, NAGAHAMA-SHI SHIGA-KEN, JP;HIRAI, YUTAKA, HIKONE-SHI SHIGA-KEN, JP;UEKI, MASAO, URAYASU-SHICHIBA-KEN, JP;SAKAI, AKIRA, NAGAHAMA-SHI SHIGA-KEN, JP
分类号 C23C16/04;C23C16/24;C23C16/452;C30B25/18;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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