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发明名称 METHOD AND APPARATUS OF TREATING PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 EP0239669(B1) 申请公布日期 1993.03.03
申请号 EP19860116311 申请日期 1986.11.25
申请人 USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 SUZUKI, SHINJI;ARAI, TETSUJI;OHNO, KUNIHARU;UEKI, KAZUYOSHI;MIMURA, YOSHIKI;TANAKA, KAZUYA;SUGIOKA, SHINJI;SUZUKI, HIROKO
分类号 G03C5/08;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03C5/08
代理机构 代理人
主权项
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