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发明名称 NON-CONTACT SURFACE PROFILER
摘要
申请公布号 EP0422150(A4) 申请公布日期 1993.03.03
申请号 EP19900905131 申请日期 1990.03.16
申请人 VEECO INSTRUMENTS INC. 发明人 YOUNG, JAMES, M.;GREENBERG, JEFFREY, S.;ROBINSON, JAY, E.;COHEN, DANIEL, A.
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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