| 发明名称 |
FORMATION OF FILM CONTAINING CUBIC BORON NITRIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0551741(A) |
申请公布日期 |
1993.03.02 |
| 申请号 |
JP19910208270 |
申请日期 |
1991.08.20 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
YANAGI KENICHI;ROKKAKU TADASHI;KOBAYASHI TOSHIRO;MORIMOTO SATOSHI;OGAWA MAKOTO;WADA TETSUYOSHI;YAMASHITA NOBUKI;WATANABE TOSHIYA |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/32;C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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