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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0551734(A) 申请公布日期 1993.03.02
申请号 JP19910215306 申请日期 1991.08.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAHASHI SHOGO
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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