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发明名称 HEAT TREATMENT OF COPPER CLAD POLYIMIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0551759(A) 申请公布日期 1993.03.02
申请号 JP19910235537 申请日期 1991.08.22
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 TAKENAKA MIKIMATA;MATSUMOTO NOBUHIRO;TAMIYA YUKIHIRO;SAEKI NORIYUKI
分类号 C23C18/38;H01L21/60;H05K3/38 主分类号 C23C18/38
代理机构 代理人
主权项
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