| 发明名称 |
ORGANOSILICON POLYMER AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME POLYMER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0551458(A) |
申请公布日期 |
1993.03.02 |
| 申请号 |
JP19910212111 |
申请日期 |
1991.08.23 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
FUKUYAMA SHUNICHI;KOBAYASHI TOMOKO |
| 分类号 |
C08G77/04;C08G77/22;C08G77/48;C08G77/50;G03F7/023;G03F7/075;H01L21/312;H01L21/316;H05K3/06 |
主分类号 |
C08G77/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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