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经营范围
发明名称
MAGNETRON SPUTTERING CATHODE
摘要
申请公布号
JPH0551735(A)
申请公布日期
1993.03.02
申请号
JP19910232164
申请日期
1991.08.20
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
OBINATA HISAHARU;KODAMA TETSUO;SUGIYAMA HARUO;KADOKURA YOSHIYUKI;TAGUCHI YOJI
分类号
C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
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