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发明名称
TARGET FOR SPUTTERING AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号
JPH0551732(A)
申请公布日期
1993.03.02
申请号
JP19910055154
申请日期
1991.03.19
申请人
MITSUBISHI MATERIALS CORP
发明人
NODA FUMIO;FUKUI SOICHI;SUGAMURA KUNIO;ITO IKUO
分类号
C22C27/04;C23C14/34
主分类号
C22C27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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