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发明名称 MULTILAYER THIN FILM FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0552996(A) 申请公布日期 1993.03.02
申请号 JP19910237414 申请日期 1991.08.23
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 IKEDA HIROSHI
分类号 C23C14/06;G21K1/06 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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