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发明名称 PLASMA ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0551775(A) 申请公布日期 1993.03.02
申请号 JP19910213738 申请日期 1991.08.26
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD;RIYOOSEN ENGINEERS:KK 发明人 YANAGI KENICHI;KATO MITSUO;TSURUSAKI KAZUYA;TAGUCHI TOSHIO;HASHIMOTO RITSUO;FURUKAWA HEIZABURO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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