| 发明名称 |
CANTILEVER-TYPE ACTUATOR, AND SCANNING TUNNELING ELECTRON MICROSCOPE AND INFORMATION PROCESSING DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0552507(A) |
申请公布日期 |
1993.03.02 |
| 申请号 |
JP19910240227 |
申请日期 |
1991.08.28 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SUZUKI YOSHIO;YAMAMOTO KEISUKE;KAWASAKI TAKEHIKO;HIRAI YUTAKA |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01L41/083;H01L41/09 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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