| 发明名称 |
MATERIAL GAS DETECTOR FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0552754(A) |
申请公布日期 |
1993.03.02 |
| 申请号 |
JP19910237242 |
申请日期 |
1991.08.22 |
| 申请人 |
NEW COSMOS ELECTRIC CORP |
发明人 |
UEDA HIDEO;TAMURA FUMIO;AKAMATSU YASUO |
| 分类号 |
C07F7/04;G01N15/06;G01N21/53;G01N21/75;G08B23/00 |
主分类号 |
C07F7/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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