SPUTTERING METHOD FOR FABRICATING THIN FILM,申请号KR19890007998-传众专利搜索

发明名称	SPUTTERING METHOD FOR FABRICATING THIN FILM
摘要
申请公布号	KR930001501(B1)	申请公布日期	1993.03.02
申请号	KR19890007998	申请日期	1989.06.10
申请人	FUJITSU LTD.	发明人	INOUE, MINORU
分类号	H01L21/3205;C23C14/34;C23C14/35;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/363	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
主权项
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