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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0551746(A) 申请公布日期 1993.03.02
申请号 JP19910206636 申请日期 1991.08.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OYABU MAKOTO;KIGAI YUKI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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