| 发明名称 |
VACUUM TREATMENT AND EQUIPMENT THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0549904(A) |
申请公布日期 |
1993.03.02 |
| 申请号 |
JP19910160203 |
申请日期 |
1991.07.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TSUBONE TSUNEHIKO;TAMURA NAOYUKI;KATO SHIGEKAZU;NISHIHATA KOJI;ITO ATSUSHI |
| 分类号 |
B01J3/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
