发明名称 DRY ETCHING METHOD USING HBR OR BR
摘要
申请公布号 KR930001500(B1) 申请公布日期 1993.03.02
申请号 KR19890001415 申请日期 1989.02.08
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 NAKAMURA, MORIDAKA;KURIMOTO, TAKASHI;ITSUKA, KATSUHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/311;H01L21/3213;H01L29/423;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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