发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0548055(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910228753 申请日期 1991.08.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWASHIMA MASATOSHI;KOIDE KAZUO
分类号 H01L21/66;H01L21/82;H01L27/118 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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