发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0548009(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910199184 申请日期 1991.08.08
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 SHIBATA YOJI
分类号 H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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