发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0547921(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910202800 申请日期 1991.08.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NIWA YOSHIYUKI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址