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发明名称 FILM FRAME AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0547851(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910224602 申请日期 1991.08.09
申请人 SHINKO ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UCHIDA HIROFUMI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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