ELECTRON BEAM PLOTTING APPARATUS,申请号JP19910209138-传众专利搜索

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发明名称	ELECTRON BEAM PLOTTING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH0547645(A)	申请公布日期	1993.02.26
申请号	JP19910209138	申请日期	1991.08.21
申请人	HITACHI LTD	发明人	MATSUOKA GENYA;KANETOMO MASABUMI;MATSUZAKA TAKASHI;OTA HIROYA
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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