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发明名称
SOLID GROWTH METHOD FOR SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH0547660(A)
申请公布日期
1993.02.26
申请号
JP19910222147
申请日期
1991.08.07
申请人
RICOH CO LTD
发明人
OKAMOTO HIROYUKI
分类号
H01L21/20;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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