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发明名称
BURN-IN FURNACE FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT TEST
摘要
申请公布号
JPH0547877(A)
申请公布日期
1993.02.26
申请号
JP19910208125
申请日期
1991.08.20
申请人
NEC CORP
发明人
OTA HIROYUKI
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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