发明名称 METHOD OF FORMING ALUMINUM BASED WIRING
摘要
申请公布号 JPH0547762(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910201823 申请日期 1991.08.12
申请人 NEC CORP 发明人 AIZAWA KAZUO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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