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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0548108(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910198185 申请日期 1991.08.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IDO YUKIO
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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