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发明名称 REMOVING METHOD OF NATURAL OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH0547720(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910228579 申请日期 1991.08.15
申请人 SONY CORP 发明人 KADOMURA SHINGO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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