| 发明名称 |
GRAPHITE WAFER HOLDING JIG FOR ATMOSPHERIC PRESSURE CVD SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0547670(A) |
申请公布日期 |
1993.02.26 |
| 申请号 |
JP19910148614 |
申请日期 |
1991.06.20 |
| 申请人 |
IBIDEN CO LTD |
发明人 |
MINOURA SEIJI;HORIO TAISHIN |
| 分类号 |
B65D85/00;B65D85/38;B65D85/86;H01L21/205 |
主分类号 |
B65D85/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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