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经营范围
发明名称
VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0547666(A)
申请公布日期
1993.02.26
申请号
JP19910202082
申请日期
1991.08.13
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MATSUMIYA YASUO;SAKUMA YOSHIKI;OZEKI MASASHI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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