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发明名称
BONDING HEAD AND BONDING METHOD OF FLIP CHIP
摘要
申请公布号
JPH0547858(A)
申请公布日期
1993.02.26
申请号
JP19910202863
申请日期
1991.08.13
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
ONIZUKA YASUTO
分类号
H01L21/60;H01L21/603
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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