发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0547614(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910207743 申请日期 1991.08.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANI SATORU
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址